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        產品中心

        EUV/XUV波前傳感器

        描述:Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結構,可以實現光化性能檢測,包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實時光學調整。

        更新時間:2025-05-09
        產品型號:XUV/EUV
        廠商性質:代理商
        詳情介紹
        品牌其他品牌產地類別進口
        應用領域環保,能源,電子/電池,電氣,綜合

        主要特點

               Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射)

               緊湊結構

               光化性能檢測

                   -EUVL 等離子源

                   -自由電子激光

                   -HHG高次諧波束

               實時光學調整

               單個脈沖重復性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


        EUV/XUV波前傳感器


        技術規格

               波長范圍:<1nm~60nm(量子轉換涂層)

               視場:9mmX6.7mm(可選更大尺寸)

               動態范圍:14Bit

               Hartmann 盤:precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

               傾角:±10°

               XY調節范圍:±10mm

               UHV兼容:CF63法蘭

        EUV/XUV波前傳感器EUV/XUV波前傳感器

        Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

        (DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

        (below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

        Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


        EUV/XUV波前傳感器

        Spot pattern @ λ=1.5 nm

        (LCLS / Stanford)


        EUV/XUV波前傳感器

        Reconstructed intensity profile


        光束測試軟件

        EUV/XUV波前傳感器


        測試基于ISO標準

        Parameter

        Standard

        Beam diameter光束直徑

        ISO 11146

        Divergence

        ISO 11146

        Beam profile光束剖面

        ISO 13694

        Pointing 指向/ pos. Stability位置穩定性

        ISO 11670

        M2 質量因子/ Focusability聚焦性

        ISO 11146

        Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

        ISO 15367

        Coherence 相干

        -

        Around 20 various camera types are supported





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